bf2 离子注入时磷杂质离子污染控制的研究 how to control phosphorus contamination in 49 bf2 implants.pdf

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bf2 水合氢企图停止中磷杂质瑕疵的把持 how to control phosphorus contamination in 49 bf2 implants.pdf

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水合氢企图停止中磷杂质瑕疵的把持看见磷的高能峰。变高上流社会的辨析仪把持给定值的方式是证明,没召集绍介彭昆虎。看重点明,现实企图片状清楚的的使平衡上流社会的数,呈以目标水合氢上流社会的数为去核的师专;与4903(mm=1693),当上流社会的辨析仪刚硬的把持到,经spectm9c()py)麟对水合氢企图的精确度和可靠性概率索赔也越来越高。I流量最高纪录显示,***水合氢会使体缺陷和相互作用带正水合氢企图的高精确的索赔使得对一点杂质水合氢间子源可能性残存在电弧应唱圣歌室、萃取器、上流社会的辨析器、时新庞大的片状清楚的50pf 水合氢企图机,甚至迫不得已提看重了在较好的上流社会的辨析器把持能耐条款使用二次水合氢质谱仪器辨析、平方阻力发电的试验方式等,BPBF3F50PF 50PF 零碎精确的,磷瑕疵在线把持。经过喻为找到,当上流社会的辨析仪设置为 且远光灯的企图完成,水合氢企图机不克不及检测到目标上流社会的在起作用的的杂质水合氢。。H31P水合氢企图,看见发电的与试验有关的,上流社会的辨析仪设为3,企图线偏振光束非常期。,企图份量为IEEE。半导体装置的特点份量,光电现象缺陷被**原子失活,这也会补充流动和击穿使紧张。这么,水合氢企图已被深亚微米pr的主流所移动。。穿插瑕疵不常见的敏感,高成本水合氢企图机是(11或,(P N型)(75AS NYPE)增压机和倚靠角色,杂质水合氢源的上流社会的和电荷数粗略估计时,两样水合氢间轻易发作穿插瑕疵。,致使装置毛病。尤其鉴于水合氢企图的内涵的使用,创造和瑕疵,很难阻碍和疗法。广为流传地有很多看重,拿 … 来说,活期洗涤水合氢企图机,有所较好的,但不克不及铲除;或采出根本原则两样型水合氢分由孤独特殊用途的水合氢企图机L4J50PF+停止试验设计并反复证明,获得物了无效并可使用于120082纤微活动技术论文编号:.—..昆明理工大学机电才能,昆明;行竟始傻缏分圃煊邢薰天津旖的关键词:水合氢企图;磷杂质瑕疵;无效把持TN304A200712-17发射:全球第三大集成电路刻创造商“中芯国际集成电路创造股份有限公司”进取心援助传记体文学:彭坤。男,湖南人,博士,上进水合氢企图技术看重;林大陈,男,台湾人,美籍,博士,中芯集成电路创造股份有限公司。1Feb2008
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△。坠警=e+BF3B+BF2+BF+F+B++籔琀琍⋯⋯Ⅳ一Ⅳ詈#】())当选,半径去核点,为目标企图离又世胱源的形状机械化385cm2115cm2BF3PH(1)(2)l当选,尺是半径。,V柿浚嗨俣龋琻口为水合氢电荷r(4)水合氢束根本适合师专:江琻当企图水合氢非常,它的上流社会的数是,与因磷50PF+50效,杂质瑕疵。、并经有理设计的反复实40A49BF2+试验表白,远光灯企图条款,水合氢企图机非(6)现实从事制造receiver 收音机。电弧应唱圣歌室,在等水合氢体和热成离子电子中,结果采取引弧电流!过高或长时期延续企图BF35050PF+(massanalvzer)荷数的水合氢,两样曲率的弧嬉戏是鉴于,为了选择假定的的掺杂水合氢,拿 … 来说,(4)b,水合氢企图机用于辨析Th的孔。,调制与水合氢质荷比对立应的正态波。,一任一某一chil的上流社会的电荷比。换句话说,当水合氢束电流较高时,上流社会的把持器的把持精确的在,现实从事制造中易发作弧畒50PF+49BF2+以把持的隐患。远光企图杂质,无效弃权,是处理这个问题的结果却方式。8.,清楚的向性典型,阻力是干使生锈内涵追溯。,水合氢企图分界线掩模。H30Kev延续企图磷水合氢后,分袂采取企图束40A800A49BF2+22a2b可以看见,远光灯企图条款,峰值测使平衡各种元素原,单位)尽头的使平衡原子值仔细研究是吸进的,可以在目标上流社会的数在起作用的测的杂质水合氢可以是Me。。能无效检测临近裨子可能性上流社会的的杂质水合氢,这致使了现实从事制造中覆盖的杂质瑕疵。瑕疵水合氢企图水合氢去核值的原理辨析,在必然的时期内,上流社会的电荷被企图师专。,经过变高上流社会的辨析仪把持的诚实,压缩制紧缩标准偏差的仔细研究,到这程度可以经过水合氢企图机的在线调控来弃权杂质水合氢源的l彭坤等:水合氢企图停止中磷杂质瑕疵的把持⋯⋯1电弧应唱圣歌室腔壁上的磷残留形状示意图n
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氛淞一/{箸一写像髚\49BF2+50PF+49BF2+均各种元素原设定为±柿糠直媛蕀噏/△盲区,难以忍受的性区别靶水合氢和可能性的水合氢。,如图所示,较好的后的上流社会的辨析器具有高地的的分辩能耐,使平衡各种元素原由杂质水合氢源设定,杂质水合氢源为d。,因而在四周receiver 收音机,小型的宝表现。,由卫胱又势滓4AMU9BF2+SIMS使苍老试验前的预备:在水合氢企图机上延续企图瑕疵。如图所示,改善前水合氢企图机与98有堆叠,它是对水合氢辨析仪现实从事制造的把持,致使。490350pf 杂质水合氢堆叠区,完成弃权水合氢瑕疵的目标。旨在处理方式可靠性概率的使苍老试验在现实宪兵中如长时期延续任务且穿插混合企图各种两样典型的目标水合氢,全体与会者的使苍老从事制造可靠性概率设计有可能性。诘ゴ蔚奈淳匣笛橹校珹设定测得,可以在深处找到高能峰。,不管怎样它缺勤供给一任一某一无效的receiver 收音机。~水合氢,任务h49BF2+2h4905纤微活动技术年249BF2+349BF2+50PF+耀}堰{使平衡各种元素原a40pA⑷胧魑谣“&”’眂b如0鹌《、:487493494506。
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3hh=4是与看重相结合的主要因素。以499KEV6210120获胜上流社会的辨析仪,其余的的数字是1。可以检测到晶圆的电弧电流和磷瑕疵。。这么,水合氢企图机企图的kev6210o溶解,w,当上流社会的辨析仪AMU03,用两种比拟的水合氢企图需要量停止植入是不轻易的。,引弧电流仍为100AAMU49O3按物价指数变动工资的,企图。800AS中苯嵌磷高能峰按物价指数变动工资的。换句话说,刚硬的的上流社会的辨析仪能领先磷瑕疵。这种方式可以推进长时期水合氢穿插企图。、或盘管进入接头电弧电流大等坏人条50pF 盘管进入接头、线偏振光束电流、电弧电流等令人厌恶地需要量,企图488312空筛晶圆。。除延续企图后易发生杂质瑕疵外,引弧电流也49BF2+(3015+32800A1階渐减,为了完成合格的的1700A63小时,鉴于磷瑕疵,在此条款测得的晶圆阻力平淡无奇的决不。换句话说,使苍老试验准备工作水合氢企图机,当3小时,必定
材料出生于淘宝网。请点明引起

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